Направление конференции: Приборостроение, системы управления, электронная и электротехническая промышленности
Степень разработки: ОКР (создан прототип или опытная партия)
Сверхпроводниковый квантовый процессор относится к средствам квантовой обработки информации на основе сверхпроводниковых кубитов и предназначен для реализации квантовых вычислений. Интегральная микросхема квантового процессора содержит 20 вычислительных кубитов-флаксониумов и 19 перестраиваемых элементов связи кубитов-трансмонов, 20 резонаторов для индивидуального считывания кубитов и 4 микроволновые передающие линии. Каждая передающая линия связана с пятью резонаторами. К вычислительным и связующим кубитам подведены индивидуальные линии контроля. Изготовление интегральной схемы выполняется методами оптической и электронно-лучевой литографии, плазмохимического травления и теневого напыления. Кремниевая подложка покрывается слоем алюминия, а джозефсоновские переходы представляют собой перекрытие пленок алюминия со слоем оксида алюминия между ними