Национальная научно-техническая конференция –
это прорыв в области техники, автоматики и всех остальных
отраслей промышленности. Примите участие вместе с нами!

Скачать положение

Главная / Архив / Приборостроение, системы управления, электронная и электротехническая промышленности /
регион:

Малогабаритная вакуумная технологическая установка

  
  
  
  

Целью проекта являлась разработка и создание актуальной и конкурентной технологической установки для проведения лабораторных и научно-исследовательских работ.
В результате проекта были реализованы следующие ключевые параметры:
1.Максимальная наглядность всех осуществляемых технологических процессов;
2. Использование в едином вакуумном цикле методов электронно-лучевого испарения, ионно-лучевого осаждения и травления, ионно-плазменного и ионно-лучевого ассистирования и модификации, ВЧ магнетронного распыления;
3.Безмасляный вакуум с предельным давлением не хуже 10-3 Па;
4.Высокая точность задания и поддержания соотношения рабочих газов.
5.Максимальная автоматизация всех технологических источников для упрощения работы с установкой в условиях учебной лаборатории, и интеграции ее в учебно-научный комплекс с интерфейсом удаленного доступа.
6.Компактные габариты установки для удобного ее размещения в обычной учебной лаборатории.


Комментарии

Отрасли

Авиационная и ракетно-космическая промышленность
Автомобильная промышленность
Железнодорожное машиностроение
Станкостроительная и инструментальная промышленность
Приборостроение, системы управления, электронная и электротехническая промышленности
Тракторное, сельскохозяйственное, лесозаготовительное, коммунальное и дорожно-строительное машиностроение
Энергетическое машиностроение
Оборонная промышленность
Тяжелое машиностроение
Судостроение
Промышленная экология
Информационные технологии
Робототехника и искусственный интеллект
Управленческие задачи